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SiO2Si相关论文
SiO2/Si衬底上石墨烯的制备与结构表征
在分子束外延设备中,利用直接沉积C原子的方法在覆盖有SiO2的Si衬底(SiO2/Si)上生长石墨烯,并通过Raman光谱和近边X射线吸收精细结构......
会议
分子束外延
SiO2/Si
石墨烯薄膜
同步辐射
MEMS用Si台面及SiO_2/Si衬底上3C-SiC的LPCVD生长(英文)
本文报道用在S i台面及热氧化S iO2衬底上3C-S iC薄膜的LPCVD生长,反应生长使用的气体为S iH4和C2H4,载气为H2,采用光学显微镜、X......
期刊
LPCVD
MEMS
Si
SiC
SiO_2/Si
台面
3C-SiC
LPCVD生长
Si台面
SiO2/Si
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